HIGH DOSE EFFECTS IN ION-IMPLANTATION

被引：14

作者：

DVURECHENSKY, AV ^{[1
]}

GERASIMENKO, NN ^{[1
]}

ROMANOV, SI ^{[1
]}

SMIRNOV, LS ^{[1
]}

机构：

[1] ACAD SCI USSR,SEMICOND PHYS INST,NOVOSIBIRSK,USSR

来源：

RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS | 1976年 / 30卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1080/00337577608233520

中图分类号：

TL [原子能技术]; O571 [原子核物理学];

学科分类号：

0827 ; 082701 ;

摘要：

引用

页码：69 / 71

页数：3