GETTER SPUTTERING FOR PREPARATION OF THIN FILMS OF SUPERCONDUCTING ELEMENTS + COMPOUNDS

被引：80

作者：

THEUERER, HC

HAUSER, JJ

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1964年 / 35卷 / 3P1期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1713414

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：554 / &

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