NEW COMPUTER CONTROL-SYSTEM FOR THE HIGH-CURRENT ION IMPLANTER PR-80

被引：2
作者：
SUNOUCHI, T
SASAKI, M
SATO, S
HARADA, M
机构：
来源：
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1989年 / 37-8卷
关键词：
D O I：
10.1016/0168-583X(89)90243-7
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：548 / 551
页数：4
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共 1 条
[1]   PR-80 HIGH-CURRENT ION-IMPLANTATION MACHINE [J].
KAWAI, T ;
NAITOH, M ;
NOGAMI, M ;
KINOYAMA, T ;
NAGAI, N ;
FUJISAWA, H .
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1987, 21 (2-4) :239-244
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