ELECTRICAL AND RELIABILITY CHARACTERISTICS OF LEAD-ZIRCONATE-TITANATE (PZT) FERROELECTRIC THIN-FILMS FOR DRAM APPLICATIONS

被引：0

作者：

CARRANO, J

SUDHAMA, C

LEE, J

TASCH, A

MILLER, W

机构：

来源：

1989 INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, TECHNICAL DIGEST | 1989年

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页数：4

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