A PURE METAL POLYCIDE METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR GATE TECHNOLOGY

被引：4
作者：
SAKIYAMA, K
YAMAUCHI, Y
MATSUDA, K
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1985年 / 3卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1116/1.582962
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
引用
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页码：1685 / 1691
页数：7
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共 6 条
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