ON THE SPUTTERING OF ULTRADISPERSED LAYERS OF AU AND METAL-OXIDES BY MULTICHARGED IONS DUE TO ELECTRONIC PROCESSES

被引：19

作者：

BARANOV, IA

OBNORSKII, VV

TSEPELEVICH, SO

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(88)90485-5

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：140 / 150

页数：11

共 61 条

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