A VERSATILE THIN FILM THICKNESS MONITOR OF HIGH ACCURACY

被引：25
作者：
LAWSON, WH
机构：
来源：
JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1967年 / 44卷 / 11期
关键词：
D O I：
10.1088/0950-7671/44/11/307
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：917 / &
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