EQUILIBRIUM BEHAVIOR OF SILICON-HYDROGEN-CHLORINE SYSTEM

被引：77

作者：

LEVER, RF

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1147/rd.84.0460

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：460 / &

共 16 条

[1] THE HEAT OF FORMATION OF SILANE [J].

BRIMM, EO ;

HUMPHREYS, HM .

[2] KINETICS OF SILICON CRYSTAL GROWTH FROM SICL4 DECOMPOSITION [J].

BYLANDER, EG .

CHARIG, JM ;

JOYCE, BA .

[4]

DARKEN LS, 1953, PHYSICAL CHEMISTRY M, P218

[5]

KELLEY KK, 1961, 584 BUR MIN B

[6]

KELLEY KK, 1961, 592 BUR MIN B

[7]

Kubaschewski O., 1958, METALLURGICAL THERMO

[8] MULTIPLE REACTION VAPOR TRANSPORT OF SOLIDS [J].

LEVER, RF .

[9]

MIKAWA Y, 1960, NIPPON KAGAKU ZASSHI, V81, P1512

SCHAFER, H ;

NICKL, J .

ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE UND ALLGEMEINE CHEMIE, 1953, 274 (4-5) :250-264