VAPOR DEPOSITION OF TIO2

被引:83
作者
YOKOZAWA, M
IWASA, H
TERAMOTO, I
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.7.96
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:96 / &
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共 3 条
[1]  
FEURSINGER AE, 1964, P IEEE, V52, P1463
[2]  
HAAS G, 1952, VACUUM, V2, P331
[3]  
SAKURAI S, 1963, REV ELEC COMMUN LAB, V11, P178