PSEUDOMORPHIC HIGH ELECTRON-MOBILITY TRANSISTORS BY ATMOSPHERIC-PRESSURE METAL-ORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:0
作者
PAN, N [1 ]
CARTER, J [1 ]
JACKSON, GS [1 ]
HUANG, JC [1 ]
ZHENG, XL [1 ]
HENDRIKS, H [1 ]
HOKE, WE [1 ]
FENG, MS [1 ]
HSIEH, KC [1 ]
机构
[1] UNIV ILLINOIS, CTR CMPD SEMICOND MICROELECTR, DEPT ELECT & COMP ENGN, URBANA, IL 61801 USA
来源
INSTITUTE OF PHYSICS CONFERENCE SERIES | 1990年 / 106期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
收藏
页码:893 / 893
页数:1
相关论文
empty
未找到相关数据