REACTIVELY SPUTTERED TIXC THIN-FILMS - PREPARATION AND PROPERTIES

被引:0
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作者
EIZENBERG, M [1 ]
MURARKA, SP [1 ]
机构
[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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页码:C102 / C102
页数:1
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