MODEL FOR SURFACE-LAYER COMPOSITION CHANGES IN SPUTTERED ALLOYS AND COMPOUNDS

被引：70
作者：
HAFF, PK [1 ]
机构：
[1] YALE UNIV,AW WRIGHT NUCL STRUCT LAB,NEW HAVEN,CT 06520
来源：
APPLIED PHYSICS LETTERS | 1977年 / 31卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1063/1.89652
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
页码：259 / 260
页数：2
相关论文
共 4 条
[1]  
ANDERSEN N, 1974, K DAN VIDENSK SE MFM, V39
[2]   SURFACE-LAYER COMPOSITION CHANGES IN SPUTTERED ALLOYS AND COMPOUNDS [J].
LIAU, ZL ;
BROWN, WL ;
HOMER, R ;
POATE, JM .
APPLIED PHYSICS LETTERS, 1977, 30 (12) :626-628
[3]   PREFERENTIAL OXYGEN SPUTTERING FROM NB2O5 [J].
MURTI, DK ;
KELLY, R .
THIN SOLID FILMS, 1976, 33 (02) :149-163
[4]  
SWITKOWSKI ZE, UNPUBLISHED
1