ION-BEAM MILLING OF INP WITH AN AR/O2-GAS MIXTURE

被引：37
作者：
KATZSCHNER, W
STECKENBORN, A
LOFFLER, R
GROTE, N
机构：
来源：
APPLIED PHYSICS LETTERS | 1984年 / 44卷 / 03期
关键词：
D O I：
10.1063/1.94725
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：352 / 354
页数：3
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