THRESHOLD VOLTAGE FOR DAMAGE IN SI UNDER ELECTRON-BOMBARDMENT

被引:5
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作者
FRASER, HL
机构
[1] UNIV ILLINOIS,DEPT MET & MINING ENGN,URBANA,IL 61801
[2] UNIV ILLINOIS,MAT RES LAB,URBANA,IL 61801
来源
SCRIPTA METALLURGICA | 1977年 / 11卷 / 01期
关键词
D O I
10.1016/0036-9748(77)90011-4
中图分类号
TF [冶金工业];
学科分类号
0806 ;
摘要
引用
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