ELECTROCHEMICAL TUNNEL ETCHING OF ALUMINUM

被引：148

作者：

ALWITT, RS

UCHI, H

BECK, TR

ALKIRE, RC

机构：

[1] ELECTROCHEM TECHNOL CORP,SEATTLE,WA 98107

[2] UNIV ILLINOIS,DEPT CHEM ENGN,URBANA,IL 61801

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1984年 / 131卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2115495

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：13 / 17

页数：5

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