ELECTRICAL-RESISTIVITY OF VERY THIN SINGLE-CRYSTAL TITANIUM FILMS AS A FUNCTION OF TEMPERATURE

被引：11

作者：

CABALLERO, J

KREMER, G

MORAGA, LA

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1984年 / 117卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(84)90188-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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共 3 条

[1]

CABALLERO J, 1983, THESIS U AUSTR CHILE

[2] ELECTRICAL RESISTIVITY OF EPITAXIAL TITANIUM FILMS [J].

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GRAHMAN, C ;

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[3] METHOD FOR FITTING FUCHS-SONDHEIMER THEORY TO RESISTIVITY-THICKNESS MEASUREMENTS FOR ALL FILM THICKNESSES [J].

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