THERMALLY INDUCED HILLOCK FORMATION IN AL-CU FILMS

被引：46

作者：

CHANG, CY

VOOK, RW

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1557/JMR.1989.1172

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：1172 / 1181

页数：10

共 25 条

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