IMAGE-PROCESSING FOR DEFECT LOCATION IN INTEGRATED-CIRCUITS

被引：0

作者：

RUSSELL, JD

HOLT, DB

机构：

来源：

INSTITUTE OF PHYSICS CONFERENCE SERIES | 1988年 / 93期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

This paper presents (i) the identification of internal electrostatic discharge damage (ESD) in an input structure using EBIC images and a variation on the comparison technique, and (ii) a simple way of producing optimised spatial filtering with Fourier transforms. The machine used was a Kontron IBAS image processor.

引用

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