ELECTRO-THERMOMIGRATION IN AL-SI, AU-SI INTERDIGITIZED TEST STRUCTURES

被引:8
作者
CHRISTOU, A [1 ]
机构
[1] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20390
关键词
D O I
10.1063/1.1662692
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2975 / 2979
页数:5
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