ELLIPSOMETRIC FUNCTION OF A FILM-SUBSTRATE SYSTEM - APPLICATIONS TO DESIGN OF REFLECTION-TYPE OPTICAL DEVICES AND TO ELLIPSOMETRY

被引:69
作者
AZZAM, RMA [1 ]
ZAGHLOUL, ARM [1 ]
BASHARA, NM [1 ]
机构
[1] UNIV NEBRASKA,COLL ENGN,ELECT MAT LAB,LINCOLN,NB 68508
关键词
D O I
10.1364/JOSA.65.000252
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页码:252 / 260
页数:9
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