DISSOLUTION OF FUSED SILICA IN MOLTEN SILICON

被引：38

作者：

CHANEY, RE ^{[1
]}

VARKER, CJ ^{[1
]}

机构：

[1] MOTOROLA INC,DIV SEMICOND PROD,MAT RES LAB,PHOENIX,AZ 85008

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(76)90101-9

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：188 / 190

页数：3

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共 5 条

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