EXPERIMENTAL-STUDY AND NUMERICAL-SIMULATION OF QUARTZ CRYSTAL ETCHED FIGURES

被引:0
作者
TELLIER, CR [1 ]
VIALLE, N [1 ]
VATERKOWSKI, JL [1 ]
机构
[1] ECOLE NATL SUPER MECAN & MICROTECHN,ELECTR & PIEZOELECT LAB,F-25030 BESANCON,FRANCE
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O42 [声学];
学科分类号
070206 ; 082403 ;
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页数:2
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