ETCHED SILICON VIBRATING SENSOR

被引：64
作者：
GREENWOOD, JC
机构：
来源：
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1984年 / 17卷 / 08期
关键词：
D O I：
10.1088/0022-3735/17/8/007
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：650 / 652
页数：3
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共 5 条
  • [1] BOGH A, 1971, J ELECTROCHEM SOC, V118, P401
  • [2] GREENWOOD JC, 1969, J ELECTROCHEM SOC, V116, P1326
  • [3] GREENWOOD JC, 1981, Patent No. 1596982
  • [4] GREENWOOD JC, 1981, Patent No. 1588669
  • [5] STUDY OF THE ETCH-STOP MECHANISM IN SILICON
    PALIK, ED
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    GRAY, HF
    GREENE, RF
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