ETCHED SILICON VIBRATING SENSOR

被引：65

作者：

GREENWOOD, JC

机构：

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1984年 / 17卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/17/8/007

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：650 / 652

页数：3

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共 5 条

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