OXYGEN DISTRIBUTION IN MELT-GROWN SILICON SINGLE-CRYSTALS

被引：0
作者：
MAKEEV, KI
EIDENZON, AM
机构：
来源：
INORGANIC MATERIALS | 1984年 / 20卷 / 04期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：469 / 473
页数：5
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共 5 条
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