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SILICON MICROETCHING TECHNOLOGY
被引：1
作者：
DESHMUKH, VGI
COX, TI
BENJAMIN, JD
机构：
[1] Royal Signals & Radar, Establishment, Signal Processing, Group, Malvern, Engl, Royal Signals & Radar Establishment, Signal Processing Group, Malvern, Engl
来源：
PHYSICS IN TECHNOLOGY
|
1984年
/
15卷
/
06期
关键词：
D O I：
10.1088/0305-4624/15/6/I01
中图分类号：
O4 [物理学];
学科分类号：
0702 ;
摘要：
引用
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页码：301 / &
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