CORROSION MECHANISM OF METALS AND ALLOYS IN THE SILICON-HYDROGEN-CHLOROSILANE SYSTEM AT 500-C

被引:6
作者
MUI, JYP
机构
关键词
D O I
10.5006/1.3581973
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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