COMPUTER-SIMULATION OF THE DEVELOPMENT OF DISH-SHAPED DEEPENINGS BY ORIENTATION-DEPENDENT ETCHING OF (100) SILICON

被引：8

作者：

DIETRICH, D

FRUHAUF, J

机构：

来源：

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL | 1993年 / 39卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0924-4247(93)80228-9

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：261 / 262

页数：2

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