EFFECT OF THE INTERFACE OF N+-TYPE SUBSTRATE AND N-TYPE EPITAXIAL LAYER ON THE JUNCTION CAPACITANCE SPECTROSCOPY

被引:0
作者
DOZSA, L [1 ]
SMID, V [1 ]
MARES, JJ [1 ]
HUBIK, P [1 ]
KRISTOFIK, J [1 ]
机构
[1] CZECHOSLOVAK ACAD SCI, INST PHYS, CS-18040 PRAGUE 8, CZECHOSLOVAKIA
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE | 1987年 / 104卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2211040259
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:K117 / K120
页数:4
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