SIMPLE TECHNIQUE FOR SEPARATING THE EFFECTS OF INTERFACE TRAPS AND TRAPPED-OXIDE CHARGE IN METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR TRANSISTORS

被引:642
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作者
MCWHORTER, PJ
WINOKUR, PS
机构
[1] Sandia Natl Lab, Albuquerque, NM,, USA, Sandia Natl Lab, Albuquerque, NM, USA
关键词
D O I
10.1063/1.96974
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
13
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页数:3
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