INFLUENCE OF ION-BOMBARDMENT ON PROPERTIES OF VACUUM-EVAPORATED THIN-FILMS

被引：11

作者：

DUDONIS, J ^{[1
]}

PRANEVICIUS, L ^{[1
]}

机构：

[1] POLYTECH INST,KAUNAS,LISSR

来源：

THIN SOLID FILMS | 1976年 / 36卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(76)90417-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：117 / 120

页数：4

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共 3 条

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