METHOD FOR THE PREPARATION OF DIELECTRIC FILMS BY ACTIVATED REACTIVE EVAPORATION USING RESISTIVELY HEATED SOURCES

被引：6
作者：
GEORGE, J
PRADEEP, B
JOSEPH, KS
机构：
来源：
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1986年 / 57卷 / 09期
关键词：
D O I：
10.1063/1.1138676
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
引用
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页码：2355 / 2356
页数：2
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共 4 条
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