INVESTIGATIONS OF X-RAY-EXPOSURE USING PLANE SCANNING MIRRORS

被引：13
作者：
BIEBER, M
SCHEUNEMANN, HU
BETZ, H
HEUBERGER, A
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1983年 / 1卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.582727
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
引用
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页码：1271 / 1275
页数：5
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