ANALYSIS OF THERMAL STRESS-INDUCED GRAIN-BOUNDARY CAVITATION AND NOTCHING IN NARROW AL-SI METALLIZATIONS

被引：49

作者：

LI, CY

BLACK, RD

LAFONTAINE, WR

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1988年 / 53卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1063/1.100113

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

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页码：31 / 33

页数：3

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共 12 条

[11] 1/F NOISE AND GRAIN-BOUNDARY DIFFUSION IN ALUMINUM AND ALUMINUM-ALLOYS [J].

KOCH, RH ;

LLOYD, JR ;

CRONIN, J .

PHYSICAL REVIEW LETTERS, 1985, 55 (22) :2487-2490

[12] A MODEL FOR STRESS-INDUCED METAL NOTCHING AND VOIDING IN VERY LARGE-SCALE-INTEGRATED AL-SI (1 PERCENT) METALLIZATION [J].

MCPHERSON, JW ;

DUNN, CF .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1987, 5 (05) :1321-1325