INTERDIFFUSION OF IN, GA, AND AL IN EPITAXIAL INGAP AND INGAALP GROWN ON GAAS BY METALORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:0
作者
MEEHAN, K [1 ]
DABKOWSKI, FP [1 ]
GAVRILOVIC, P [1 ]
WILLIAMS, JE [1 ]
STUTIUS, W [1 ]
HSIEH, KC [1 ]
机构
[1] UNIV ILLINOIS,DEPT ELECT & COMP ENGN,URBANA,IL 61801
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:S22 / S22
页数:1
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