ELECTRONIC EXCITATION MODEL FOR IMPURITY-ENHANCED SOLID-PHASE EPITAXY OF AMORPHOUS-SILICON

被引:1
作者
WAUTELET, M
机构
关键词
D O I
10.1088/0268-1242/4/8/013
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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页数:2
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