FAST-RESPONSE SILICON FLOW SENSOR WITH AN ON-CHIP FLUID TEMPERATURE SENSING ELEMENT

被引:33
作者
TABATA, O
机构
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1986.22495
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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