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PREPARATION OF DEVICE QUALITY GAAS USING PLASMA ENHANCED MO-CVD TECHNIQUE
被引：0
作者：
PANDE, KP
SEABAUGH, A
机构：
[1] BENDIX ADV TECHNOL CTR,COLUMBIA,MD 21045
[2] NBS,WASHINGTON,DC 20234
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
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页码：C95 / C95
页数：1
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