FINE FOCUSED ION-BEAM SYSTEM USING LIQUID-METAL ALLOY ION SOURCES AND MASKLESS FABRICATION

被引：0

作者：

GAMO, K ^{[1
]}

INOMOTO, Y ^{[1
]}

OCHIAI, Y ^{[1
]}

NAMBA, S ^{[1
]}

机构：

[1] OSAKA UNIV,DEPT ENGN SCI,TOYONAKA,OSAKA 560,JAPAN

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1982年 / 129卷 / 03期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：C110 / C110

页数：1

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