ULTRAVIOLET-SPECTRA OF II-VI ORGANOMETALLIC COMPOUNDS AND THEIR APPLICATION TO INSITU MEASUREMENTS OF THE PHOTOLYSIS IN A METALORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION REACTOR

被引：24
作者：
FUJITA, Y
FUJII, S
IUCHI, T
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.576111
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
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页码：276 / 280
页数：5
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