NODULAR GROWTH IN THICK-SPUTTERED METALLIC COATINGS

被引：69

作者：

SPALVINS, T ^{[1
]}

BRAINARD, WA ^{[1
]}

机构：

[1] NASA,LEWIS RES CTR,CLEVELAND,OH 44135

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318706

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1186 / 1192

页数：7

共 10 条

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