NEW IMAGING AND DEFLECTION CONCEPT FOR PROBE-FORMING MICROFABRICATION SYSTEMS

被引：42

作者：

PFEIFFER, HC ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,SYST PROD DIV,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568485

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1170 / 1173

页数：4