Model for Thermal Oxidation of Silicon

被引:0
作者
A. V. Fadeev
Yu. N. Devyatko
机构
[1] Valiev Institute of Physics and Technology,
[2] Russian Academy of Sciences,undefined
[3] National Research Nuclear University MEPhI (Moscow Engineering Physics Institute),undefined
来源
Technical Physics | 2019年 / 64卷
关键词
D O I
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页码:575 / 581
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