Internal stresses and lifetime evaluation of PECVD isolating layers

被引：0

作者：

A. Dommann

N. Herres

M. Krink

J.J. Galiano

B. Stämpfli

机构：

[1] Institute for Microsystems,

[2] Interstate University of Applied Science Buchs (NTB),undefined

[3] CH-9471 Buchs SG,undefined

[4] Switzerland E-mail: dommann@ntb.ch,undefined

[5] Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik (IAF),undefined

[6] D-79108 Freiburg,undefined

[7] Germany,undefined

[8] BPS-NEXTRAL,undefined

[9] Grenoble,undefined

[10] F-38330 St. Ismier,undefined

[11] France,undefined

来源：

Microsystem Technologies | 2001年 / 7卷

关键词：

Internal Stress; Lifetime Evaluation;

D O I：

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学科分类号：

摘要：

引用

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页数：3