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A giant bid to etch tiny circuits
被引：0
作者：
Katherine Bourzac
机构：
来源：
Nature
|
2012年
/
487卷
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
Intel invests US$1 billion into extreme-ultraviolet light technology that will quarter the size of transistors.
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