Internal Stresses in Mo/Y Multilayer Mirrors

被引：0

作者：

D. S. Kvashennikov

Yu. A. Vainer

S. Yu. Zuev

V. N. Polkovnikov

机构：

[1] Institute for Physics of Microstructures of the Russian Academy of Sciences,

来源：

Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques | 2019年 / 13卷

关键词：

multilayer mirrors; X-ray optics; internal stress; magnetron sputtering;

D O I：

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学科分类号：

摘要：

引用

页码：177 / 181

页数：4

共 60 条

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