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AFM-tip-induced and current-induced local oxidation of silicon and metals
被引：0
作者：
P. Avouris
R. Martel
T. Hertel
R. Sandstrom
机构：
[1] IBM Research Division,
[2] T.J. Watson Research Center,undefined
[3] Yorktown Heights,undefined
[4] USA,undefined
来源：
Applied Physics A
|
1998年
/
66卷
关键词：
Oxidation;
Silicon;
Local Oxidation;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：S659 / S667
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