Self-calibration in two-dimensions: The experiment

被引：12

作者：

Takac, MT ^{[1
]}

Ye, J ^{[1
]}

Raugh, MR ^{[1
]}

Pease, RF ^{[1
]}

Berglund, CN ^{[1
]}

Owen, G ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,STORAGE SYST DIV,SAN JOSE,CA 95193

来源：

METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY X | 1996年 / 2725卷

关键词：

calibration; measurement;

D O I：

10.1117/12.240149

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：17