Infrared phase-shifting digital interferometer

被引：0

作者：

Chen, JB ^{[1
]}

Chen, L ^{[1
]}

Huang, SW ^{[1
]}

Jin, GY ^{[1
]}

机构：

[1] INST ELECT ENGN & PHOTOELECT TECHNOL,NANJING 210094,PEOPLES R CHINA

来源：

AUTOMATED OPTICAL INSPECTION FOR INDUSTRY | 1996年 / 2899卷

关键词：

infrared interferometry; phase shift; interferometer;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：532 / 538

页数：7