Noncontact optical characterization of thin film coatings.

被引:0
作者
Rogers, JA
Maznev, AA
Nelson, KA
机构
[1] Lucent Technol, Bell Labs, Murray Hill, NJ 07974 USA
[2] MIT, Dept Chem, Cambridge, MA 02139 USA
来源
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 2000年 / 220卷
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O6 [化学];
学科分类号
0703 ;
摘要
146-PMSE
引用
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页码:U350 / U350
页数:1
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