Aerostatic precision glass bearing with an integrated polygonal mirror for scanning - A new method

被引：1

作者：

Risse, S ^{[1
]}

Guyenot, V ^{[1
]}

机构：

[1] FRAUNHOFER INST APPL OPT & PRECIS ENGN,D-07745 JENA,GERMANY

来源：

SPECIFICATION, PRODUCTION, AND TESTING OF OPTICAL COMPONENTS AND SYSTEMS | 1996年 / 2775卷

关键词：

aerostatic bearing; glass/glassceramic bearing; scanning techniques; scanner;

D O I：

10.1117/12.246799

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：10